マイクロマシニング (G34C)

学修到達目標	マイクロマシン、ナノテクノロジーなども実用化への検討がなされるようになってきた。これらを支える加工技術は従来の機械加工と様相を一変し、真空製膜、高エネルギービーム、あるいは、LSI技術の延長であるフォトリソグラフィーによるところが大きい。本講義ではこれらに代表される最先端加工法の導入部を理解することを目標とする。
授業形態及び授業方法	原理に関する講義に加え、実例を解説して理解を深める
履修条件	精密加工を受講前に履修していることが望ましい。

第1回	機械加工とマイクロマシニング　　マイクロマシニングの概念
第2回	真空と気体分子運動論１　　真空と状態方程式　気体の圧力と内部エネルギー　全圧と分圧
第3回	真空と気体分子運動論２　　気体分子速度の分布則　平均自由行程と衝突確率　空気中での気体の流れ　真空装置
第4回	プラズマの基礎１　　プラズマとは　電子と気体分子との衝突過程
第5回	プラズマの基礎２　　物質と接するプラズマの構造　プラズマ装置とプラズマ内部の現象
第6回	物理蒸着法　　真空蒸着法　スパッタリング法
第7回	薄膜の形成過程　　薄膜の成長とその表面　核発生　薄膜組織の発達
第8回	エッチング１　　エッチング加工の分類　ウエットエッチング
第9回	エッチング２　　化学的ドライエッチング　物理＋化学的ドライエッチング
第10回	エッチング３　　物理＋化学的ドライエッチング
第11回	フォトリソグラフィー１　　フォトリソグラフィーの概要　フォトレジスト工程
第12回	フォトリソグラフィー２　　フォトマスク　露光
第13回	ＭＥＭＳ　　ＭＥＭＳの概要　ＭＥＭＳの材料　ＭＥＭＳの工法　計測・評価技術
第14回	ナノテクノロジーへの導入　　ナノテクノロジとは
第15回	平常試験及びその解説

教科書	近藤英一『機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理』共立出版 2005年第1版
参考書	精密工学会『精密加工実用便覧』日刊工業新聞社 2000年第１版原央『ULSIプロセス技術』培風館 1997年第１版『進化するマイクロマシン産業化のロードマップとナノとの融合』マイクロマシンセンター/監修 μM産業化研究会/編日刊工業新聞社 2004年第1版
成績評価の方法及び基準	定期試験と出席状況を総合的に判断する
質問への対応	研究室にて随時また、e-mailで受け付ける
研究室又は連絡先	７号館４階　７４３号室 uchikoba@eme.cst.nihon-u.ac.jp
オフィスアワー	水曜船橋 16:50 ～ 17:50
学生へのメッセージ	原子レベル、分子レベルでの研究が伝えられるようになってきた。卒業後にナノテクノロジー、MEMSなどの分野にかかわる諸君も増えると思われる。本講義を第一線の研究を理解するための導入として活用してほしい。

2015年 理工学部 シラバス - 精密機械工学科