2015年 理工学部 シラバス - 電子工学科
設置情報
| 科目名 | 電子物理計測 | ||
|---|---|---|---|
| 設置学科 | 電子工学科 | 学年 | 4年 |
| 担当者 | 中川・芦澤 | 履修期 | 後期 |
| 単位 | 1 | 曜日時限 | 木曜4 |
| 校舎 | 船橋 | 時間割CD | J44B |
| クラス | |||
概要
| 学修到達目標 | 現代のエレクトロニクスを支える超高速・超高密度集積回路や超高密度メモリ等は高度な物理計測技術を用いた分析結果を基に新たな発展をしてきた。これらの電子デバイスにかかわる先端技術の研究・開発には物理計測が必須であり、これを修得する。 |
|---|---|
| 授業形態及び 授業方法 |
この講義は、物理計測の基礎的事項から実際の計測応用例を含め、物理計測に初めてふれる学生を対象とした内容とし、トピックスを織り交ぜながら、講義主体で進める。 |
| 履修条件 | 選択 |
授業計画
| 第1回 | 電子物理計測の概要 |
|---|---|
| 第2回 | 真空の分類と単位 |
| 第3回 | 真空をつくる、測る |
| 第4回 | プラズマ |
| 第5回 | 薄膜作製方法 |
| 第6回 | 結晶成長 |
| 第7回 | 膜厚計測 |
| 第8回 | 表面物性計測 |
| 第9回 | |
| 第10回 | |
| 第11回 | |
| 第12回 | |
| 第13回 | |
| 第14回 | |
| 第15回 |
その他
| 教科書 | |
|---|---|
| 参考書 |
麻蒔 立男 『薄膜作成の基礎』 日刊工業新聞社 2005年 第4版
購入は必須ではないが、基礎的なことは網羅している。
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| 成績評価の方法 及び基準 |
レポート，定期試験 |
| 質問への対応 | 随時。研究室にて。 |
| 研究室又は 連絡先 |
中川(422)・芦澤(422) |
| オフィスアワー |
水曜 船橋 13:00 ～ 15:00 422号室
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| 学生への メッセージ |
質問はいつでも大歓迎です。積極的に授業に参加してください。 |