マイクロシステム特論Ⅰ (F26A F33A)

学修到達目標	近年半導体の微細加工技術を利用したマイクロマシンと呼ばれる微細機械部品が高集積エレクトロニクスと融合し、我々の日常生活を変化させてきている。本講義においてはこれらのマイクロマシン技術の概要と基礎を学び本技術の将来動向を検討する。
授業形態及び授業方法	主として講義形式で行い、適宜学生自身の調査報告を発表させる形をとる。
準備学習（予習・復習等）の内容・受講のための予備知識	力学、材料力学の基礎が必要です。

第1回	マイクロ・ナノ機械の概要
第2回	マイクロ・ナノ機械の発展の歴史
第3回	マイクロ・ナノ機械の特徴と利点
第4回	マイクロ・ナノ機械の応用分野
第5回	光技術分野への応用１：マイクロマシンの光技術へのインパクト
第6回	光技術分野への応用２：光マイクロマシンの歴史
第7回	光技術分野への応用１：各種光マイクロマシン
第8回	マイクロ・ナノマシーニング(製作技術）１：基本プロセス
第9回	マイクロ・ナノマシーニング(製作技術）２：表面マイクロマシーニング
第10回	マイクロ・ナノマシーニング(製作技術）３：電鋳と埋め戻しによる立体加工
第11回	マイクロアクチュエータ１：駆動原理と構造
第12回	マイクロアクチュエータ２：圧電アクチュエータ
第13回	マイクロアクチュエータ３：各種アクチュエータ
第14回	最近のマイクロマシン研究紹介
第15回	総合討論

教科書	藤田　博之『マイクロ・ナノマシン技術入門』工業調査会 2003年第初版
参考資料コメント及び資料（技術論文等）
成績評価の方法及び基準	出欠状況、演習レポートによる総合評価。
質問への対応	講義終了後または研究室にて講師の時間の許す範囲で。
研究室又は連絡先	研究室：船橋校舎6号館623号室 nishioka@eme.cst.nihon-u.ac.jp
オフィスアワー	水曜船橋 18:00 ～ 19:00 船橋校舎6号館623号室
学生へのメッセージ

2015年 大学院理工学研究科 シラバス - 精密機械工学専攻