2015年 大学院理工学研究科 シラバス - 精密機械工学専攻
設置情報
| 科目名 | マイクロシステム特論Ⅱ | ||
|---|---|---|---|
| 設置学科 | 精密機械工学専攻 | 学年 | 1年 |
| 担当者 | 西岡 泰城 | 履修期 | 後期 |
| 単位 | 2 | 曜日時限 | 水曜3 |
| 校舎 | 船橋 | 時間割CD | F33B |
| クラス | |||
概要
| 学修到達目標 | MEMS技術の最近の話題に関する論文の輪講を通じて、それらの研究の背景に有る基礎的事項を理解する。これにより、自らのＭＥＭＳ研究を発展させるきっかけをつかむ。 |
|---|---|
| 授業形態及び 授業方法 |
基礎的事項について講義を行い、その後最近話題となっている論文（特に英文）を輪講する。適宜、学生によるプレゼンにより授業を進める。 |
|
準備学習（予習・ 復習等）の内容・ 受講のための 予備知識 |
力学および材料力学の基礎が必要です。 |
授業計画
| 第1回 | ＭＥＭＳ応用の概要 |
|---|---|
| 第2回 | 可動機構を有する電子素子 |
| 第3回 | ＩＣ工程で試作するマイクロモータ |
| 第4回 | 静電リニアアクチュエータＩ |
| 第5回 | 静電リニアアクチュエータＩＩ |
| 第6回 | ＣＭＯＳ電熱マイクロアクチュエータ |
| 第7回 | シリコンマイクロバルブ |
| 第8回 | マイクロ流体センサ |
| 第9回 | マイクロ薄膜プロセス |
| 第10回 | 振動マイクロ素子のプロセス集積化 |
| 第11回 | マイクロ素子制御回路 |
| 第12回 | ＬＩＧＡプロセス |
| 第13回 | マイクロ素子の応用分野 |
| 第14回 | マイクロデバイスセンターで試作できる素子 |
| 第15回 | 総合討論 |
その他
| 教科書 | |
|---|---|
| 参考資料コメント 及び 資料（技術論文等） |
|
| 成績評価の方法 及び基準 |
レポートおよびプレゼン内容 |
| 質問への対応 | 随時 |
| 研究室又は 連絡先 |
船橋6号館623号室 西岡研究室 電子メール nishioka@eme.cst.nihon-u.ac.jp |
| オフィスアワー |
水曜 船橋 17:00 ～ 19:00 船橋6号館623号室
|
| 学生への メッセージ |
ＭＥＭＳ研究は種々の分野の研究者が集まっています。専攻は問いません。 |