微小機械設計特論Ⅱ (F54B)

学修到達目標	微小機械設計特論Ｉをさらに深くまた具体的に学ぶ．原理，マイクロ力学，加工・組立法，トライボロジ，設計法，最近の技術動向・今後の展開等を，実例にもとづき具体的に示す．
授業形態及び授業方法	パワーポイント，板書等による講義と，学生も参加してのディスカッション（討論），プレゼンテーション（学生が調査課題に対して発表）などを行う．
準備学習（予習・復習等）の内容・受講のための予備知識	半導体加工および物理、工業力学の基礎知識

第1回	マイクロ機構に関する技術の変遷
第2回	マイクロ力学，スケール則，トライボロジについて
第3回	マイクロ力学といろいろなアクチュエータ
第4回	将来のアクチュエータについて考える（ディスカッション）
第5回	センサーとそこに使われている物理原理について
第6回	将来のセンサー技術について（ディスカッション）
第7回	最近のマイクロ加工技術について
第8回	今後有望なマイクロ加工技術について（ディスカッション）
第9回	微小機械の新たな活用領域
第10回	微小機械の新たな活用領域（ディスカッション）
第11回	微小機械の計測ツールについて
第12回	ミクロな領域での摩擦・摩耗にいかに対処するか（ディスカッション）
第13回	ナノテクノロジーとの関連について（講義）
第14回	プレゼンテーション（１）（受講者が行う）
第15回	プレゼンテーション（２）（受講者が行う）

教科書
参考資料コメント及び資料（技術論文等）	例えば、マイクロマシン技術総覧（産業技術サービスセンター），マイクロマシン開発ノートブック（藤正巌，秀潤社）
成績評価の方法及び基準	プレゼン、レポートで評価する．
質問への対応	随時
研究室又は連絡先	今井研究室(6号館1階614室)
オフィスアワー	金曜船橋 12:10 ～ 13:20
学生へのメッセージ	特になし

2015年 大学院理工学研究科 シラバス - 精密機械工学専攻