マイクロシステム特別研究 (F66D)

研究テーマ及び研究領域	本研究室ではシリコン集積回路プロセス技術を活用し、超微細機械素子とそれらの運動をモニタまたは制御する電子回路を集積化したマイクロマシン技術を目指し研究開発を行う。
学修到達目標	マイクロ素子の設計・試作・評価の過程を体験することにより、微細素子工学の基本を体得する。
研究指導の計画・研究指導の方法（授業形態・授業方法）	ゼミナールによる素子設計理論の学習と素子の試作実験を行なう
準備学習（予習・復習等）の内容・受講のための予備知識	材料力学、電子工学、化学、物理の基礎知識

成績評価の方法及び基準	ゼミナールおよび実験の理解度によって評価する
質問への対応	可能である限りいつでも可能
研究室又は連絡先	船橋校舎6号館623号室電話：047-469-6482 nishioka@eme.cst.nihon-u.ac.jp
オフィスアワー	土曜船橋 13:00 ～ 17:00
学生へのメッセージ	この研究によって実際にマイクロデバイスを設計、試作、評価を行ないます。

2016年 大学院理工学研究科 シラバス - 精密機械工学専攻