2025年 大学院理工学研究科 シラバス - 精密機械工学専攻
設置情報
| 科目名 | マイクロシステム特論Ⅰ | ||
|---|---|---|---|
| 設置学科 | 精密機械工学専攻 | 学年 | 1年 |
| 担当者 | 齊藤 健 | 履修期 | 前期 |
| 単位 | 2 | 曜日時限 | 木曜2 |
| 校舎 | 船橋 | 時間割CD | G42A |
| クラス | |||
概要
| 学修到達目標 | 研究活動において、基礎的なマイクロシステムに関する知識を発揮できることを学修到達目標とします。 |
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| 授業形態及び 授業方法 |
マイクロシステム特論Ⅰでは対面授業を実施します。 教科書・板書・パワーポイントを用いて授業を進める。 |
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準備学習（予習・ 復習等）の内容・ 受講のための 予備知識 |
半導体工学に関する知識があれば授業の理解が早いです。 |
授業計画
| 第1回 | マイクロシステムの概要の解説 | (事前学修) 教科書第1章を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
|---|---|---|---|
| 第2回 | MEMSの製作の解説I | (事前学修) 教科書第2章2.1～2.2を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第3回 | MEMSの製作の解説II | (事前学修) 教科書第2章2.3～2.5を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第4回 | MEMSの製作の解説III | (事前学修) 教科書第2章2.6～2.8を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第5回 | MEMSの要素の解説I | (事前学修) 教科書第3章3.1を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第6回 | MEMSの要素の解説II 配線材料と薄膜・厚膜材料についての説明 | (事前学修) 教科書第3章3.2を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第7回 | MEMSの要素の解説III | (事前学修) 教科書第3章3.3を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第8回 | MEMSの応用の解説I | (事前学修) 教科書第4章4.1を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第9回 | MEMSの応用の解説II | (事前学修) 教科書第4章4.2を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第10回 | MEMSの応用の解説III | (事前学修) 教科書第4章4.3を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第11回 | MEMSの応用の解説IV | (事前学修) 教科書第4章4.4を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第12回 | MEMSの応用の解説V | (事前学修) 教科書第4章4.5を読んで理解できない箇所を質問できるようまとめておくこと。 (事後学修) 講義資料および各自の授業のノートを用いて復習し、理解できない箇所は質問できるようまとめておくこと。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第13回 | 学生による調査報告I | (事前学修) 事前に指示されたテーマについて調査する。 (事後学修) 報告事項について教員、学生から指摘を受けた事柄を復習する。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第14回 | 学生による調査報告II | (事前学修) 事前に指示されたテーマについて調査する。 (事後学修) 報告事項について教員、学生から指摘を受けた事柄を復習する。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
| 第15回 | レポート提出およびその解説 | (事前学修) 提出するレポートに関する調査を行う。 (事後学修) 提出したレポートに関する復習をする。 | (事前学修) [１２０分] (事後学修) [１２０分] |
その他
| 教科書 |
江刺 正喜 『はじめてのMEMS』 森北出版株式会社 2011年 第1版
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| 参考資料コメント 及び 資料（技術論文等） |
三田 吉郎 『MEMSデバイス徹底入門「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ』 日刊工業新聞社 2018年 第1版
藤田 博之 『センサ・マイクロマシン工学』 オーム社 2005年 第1版
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| 成績評価の方法 及び基準 |
調査報告により評価します。調査報告がなければ成績の評価はしません。 |
| 質問への対応 | 授業中に理解できないところがあった場合、授業中もしくは連絡先に記載のメールアドレス宛に質問すること。 |
| 研究室又は 連絡先 |
船橋校舎 7号館4階743A室 齊藤研究室 saito.ken18@nihon-u.ac.jp ミスを防ぐためメールの件名は必ず マイクロシステム特論Ⅰ 学生番号 氏名 としてください。 |
| オフィスアワー |
金曜 船橋 10:40 ～ 12:10
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| 学生への メッセージ |
創造性豊かで、自ら積極的に行動できる優秀なエンジニア、研究者になってください。 |